假片

半导体科技
不再需要假片(Dummy Wafer) 5． 有工艺问题时，仅单片受影响。 真空系统一台离子注入 设备的真空系统通常由干泵，分子泵和冷泵组成，主要可分为三个区域： 1． 离子源2． 离子束管3． 靶室离子源真空不能太低，若接近1×10-4Torr附近，则电弧腔和吸引电极间 ...
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不过season用的也叫dummy wafer，这个就不能叫挡片了。也就是用来暖机的概念性“产品”， 一般为PR wafer ... 所有机台都需要“假片”——“dummy wafer”来做season，或者设备维护后 的试机片，等等，凡是产品圆片，QC片以外的全部可以称为dummy wafer ...
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